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首頁(yè)-技術(shù)文章-介紹透射電鏡塊體樣品的制備方法

介紹透射電鏡塊體樣品的制備方法

更新時(shí)間:2021-10-22      點(diǎn)擊次數(shù):2895
  透射電鏡是一種高分辨率、高放大倍數(shù)的顯微鏡,是材料科學(xué)研究的重要手段,能提供極微細(xì)材料的組織結(jié)構(gòu)、晶體結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分等方面的信息。透射電鏡的分辨率為0.1~0.2nm,放大倍數(shù)為幾萬(wàn)~幾十萬(wàn)倍。
  透射電鏡樣品制備要求
  透射電鏡制樣原則:
 ?、俸?jiǎn)單。
 ?、诓黄茐臉悠繁砻妫纾罕苊饽舆^(guò)程中產(chǎn)生的位錯(cuò)及離子減薄過(guò)程中產(chǎn)生的非晶現(xiàn)象等。
 ?、郾M可能獲得大的薄區(qū)。
  透射電鏡樣品要求:
 ?、賹?duì)電子束透明(電子束穿透固體樣品的厚度主要取決于:加速電壓和樣品原子序數(shù))。
 ?、诠腆w、干燥、無(wú)油、無(wú)磁性。
  透射電鏡塊體樣品的制備方法:
  1、離子減薄
  特點(diǎn):不受材料電性能的影響,即不管材料是否導(dǎo)電,金屬或非金屬或者二者混合物,不管材料結(jié)構(gòu)多復(fù)雜均可用此方法制備薄膜。
 ?、贅悠凡眉簦簩⑼干潆婄R樣品沖壓成直徑3mm的圓片。
 ?、谘心伖猓簩⑼干潆婄R樣品圓片用手動(dòng)研磨盤手動(dòng)研磨至厚度低于80微米的圓片。
 ?、郯伎樱喊伎觾x單面凹坑至圓片ZX厚度為10-30微米。
 ?、茈x子減?。涸O(shè)置好離子槍角度、減薄時(shí)間、加速電壓將樣品減薄至出現(xiàn)足夠薄區(qū)。
  2、電解雙噴
  特點(diǎn):受材料電性能的影響,只能用于金屬樣品,并且耗時(shí)短成本低。
 ?、贅悠凡眉簦簩⑼干潆婄R樣品沖壓成直徑3mm的圓片。
 ?、谘心伖猓簩⑼干潆婄R樣品圓片用手動(dòng)研磨盤手動(dòng)研磨至厚度低于100微米的圓片。
 ?、郯伎樱喊伎觾x單面凹坑至圓片ZX厚度為10-30微米。
  ④電解雙噴:設(shè)置好電解液、電壓、溫度將樣品減薄至出現(xiàn)足夠薄區(qū)。
  

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