真空保存裝置是透射電子顯微鏡重要的配套設(shè)備。透射電子顯微鏡可以直接在原子尺度表征材料的結(jié)構(gòu)和成分。樣品在透射電鏡中觀察時(shí),會(huì)受到強(qiáng)電子束流密度照射,樣品表面的碳?xì)湮廴疚锛皹悠窏U本身在高電流密度轟擊下分解,從而影響樣品原子尺度的觀察,因此透射電鏡樣品桿在電鏡外未使用狀態(tài)下,應(yīng)保存在透射電鏡樣品桿真空泵站系統(tǒng)中處于真空狀態(tài),以防止碳?xì)浠衔镂廴?,并加快樣品更換過(guò)程。
傳統(tǒng)透射電鏡樣品桿保存泵站,所有樣品桿保存管道統(tǒng)一開(kāi)啟、關(guān)閉,在存取出單一樣品桿時(shí),其他未取出樣品桿也同時(shí)暴露于空氣中,容易造成其他未取出樣品桿上的樣品受到空氣中碳?xì)浠衔锏奈廴尽?/div>
至少兩個(gè)樣品桿儲(chǔ)存組件,所述樣品桿儲(chǔ)存組件包括樣品桿存儲(chǔ)管、電磁閥及放氣閥,所述樣品桿存儲(chǔ)管的兩端分別設(shè)有插口及通氣口,所述電磁閥連接所述真空泵及所述樣品桿存儲(chǔ)管的通氣口,所述電磁閥用于控制所述真空泵與所述樣品桿存儲(chǔ)管的通氣口連通或斷開(kāi);所述放氣閥連接所述樣品桿存儲(chǔ)管的通氣口,所述放氣閥用控制所述樣品桿存儲(chǔ)管的通氣口與外界空氣連通或斷開(kāi)。
上述電鏡樣品桿真空保存裝置,每個(gè)樣品桿儲(chǔ)存組件的樣品桿存儲(chǔ)管由獨(dú)立的電磁閥及放氣閥控制,從而對(duì)某根樣品桿進(jìn)行存取時(shí),只需打開(kāi)或關(guān)閉該樣品桿存儲(chǔ)管所對(duì)應(yīng)的電磁閥及放氣閥即可,不影響其他樣品桿存儲(chǔ)管內(nèi)的樣品桿的真空存儲(chǔ)狀態(tài),有效避免在存取出單一樣品桿時(shí),其他未取出樣品桿也同時(shí)暴露于空氣中,有效防止其他未取出樣品桿上的樣品受到空氣中碳?xì)浠衔锏奈廴?。而且,?dāng)有部分樣品桿存儲(chǔ)管未插樣品桿,關(guān)閉該樣品桿存儲(chǔ)管對(duì)應(yīng)的電磁閥,并不會(huì)影響到其他插有樣品桿的樣品桿存儲(chǔ)管的封閉性。